光學薄膜激光損傷閾值測試依據(jù)標準ISO建立，主要用于薄膜或光學元件表面強激光承受能力的測試?？蛇M行光學元件或薄膜激光損傷閾值及損傷斑的測試；激光預處理，提高薄膜的激光損傷閾值。儀器使用簡單，測試方便，實現(xiàn)了數(shù)字化、集成化、智能化。基本功能模塊包含散射判別模塊與圖像判別模塊；擴展功能模塊包括復核校驗模塊、光譜分析與判別模塊、聲譜分析與判別模塊、質譜分析及判別模塊。

　　該測試系統(tǒng)主要有以下優(yōu)勢：

　　首先，相互補充、互為校對的多種損傷判別方法。每種損傷判別方法都有一定的局限性和應用范圍，單一的損傷判別方法難以對不同厚度、不同膜系的薄膜均做出準確的判別。本套系統(tǒng)集成了多種檢測方法：圖像檢測、散射檢測、光譜檢測、聲譜檢測等，這些方法相互補充、互為校對，拓展了測試對象的應用范圍，為整體系統(tǒng)的測試穩(wěn)定提供了有力保障。

　　其次，高倍率的樣品在線檢測復核系統(tǒng)。由于工作距的限制，目前測試系統(tǒng)中圖像判別法采用的CCD放大倍率只能達到50倍以下，不滿足標準規(guī)定的100倍的要求。對此，系統(tǒng)配備了高倍變焦顯微鏡校驗系統(tǒng)，方便用戶在不影響測試過程，不拆卸樣品的情況下，對損傷點的實際情況進行在線復查，保證了對準精度。另外，雙波長共光路的系統(tǒng)設計。儀器具有單波長和雙波長兩種類型。針對雙波長測試儀，采用兩臺激光器，經過合色棱鏡，合并在一束光路上，簡化了光學系統(tǒng)結構，可對同一點，實現(xiàn)雙波長激光的同時預處理。